半導(dǎo)體 芯片 OLED光學(xué)變溫 晶圓加熱盤(pán) 冷熱平板
適用不同尺寸的晶圓測(cè)試，可用于各類探針臺(tái)，溫控同時(shí)進(jìn)行電學(xué)測(cè)試。
溫度范圍 -120℃～400℃
溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃
溫度均勻性 ±2%
樣品區(qū) 2寸～12寸
臺(tái)面平整度 25um
臺(tái)面電位 電接地 三同軸 背電極 可選
適配儀器 手動(dòng)探針臺(tái) 半自動(dòng)探針臺(tái) 激光退火
適用領(lǐng)域 半導(dǎo)體 芯片 OLED光學(xué)變溫 晶圓測(cè)試
冷熱平板
適用不同尺寸的樣品測(cè)試，可用于各類大尺寸樣品，溫控同時(shí)進(jìn)行光學(xué)電學(xué)測(cè)試。
溫度范圍 -120℃～400℃
溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃
溫度均勻性 ±2%
氣氛保護(hù)、真空
樣品區(qū) 2寸～12寸
臺(tái)面平整度 25um
臺(tái)面電位 電接地 三同軸 背電極 可選
適配儀器 顯微鏡、光譜儀、手動(dòng)探針臺(tái) 半自動(dòng)探針臺(tái) 激光退火
適用領(lǐng)域 材料、化工、半導(dǎo)體 芯片 OLED光學(xué)變溫 晶圓測(cè)試
